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Hace más de 10.000 años, los Paleo-Indios de América del Norte, ya usaban las aguas termales (para cocinar alimentos) y sus minerales con propósitos medicinales.

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En 1330 existía una red de distribución de agua caliente en algunas casas de Chaudes-Aigues (Francia), los usuarios tenían que pagar una tasa. Servía para lavar lana y pieles.

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El descubrimiento en 1818 de sales de boro en Larderello, Toscana (Italia), marcó el inicio de la utilización industrial de los recursos geotérmicos.

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En 1827 el fundador de esta industria (François Larderel) desarrolló un sistema para utilizar el calor de los fluidos en el proceso de evaporación, que se encontraban en rápida deforestación.

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En 1833, en barrio de Grenelle (París) se inició el primer sondeo profundo, un pozo artesano de 548m de profundidad, captó agua potable a 30ºC en el acuífero de la Cuenca de París.

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En 1892 la primera red local de calefacción urbana entró en funcionamiento en Boise, Idaho.

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En el siglo XX el empleo de la energía geotérmica se incrementa,  dio paso a la generación de electricidad a partir de vapor geotérmico (entrando en funcionamiento en 1913 una central de 250 kW).

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Entre 1910 y 1940, el vapor de baja presión fue utilizado para calefacción de invernaderos, edificios industriales y residenciales.

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En 1919 se perforaron los primeros pozos en Beppu (Japón) y en 1924 se instaló una planta experimental de 1 kW para producir energía eléctrica.

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En 1921, en The Geysers (California), se perforaron dos pozos y se instaló una pequeña máquina de vapor que, conectaba a una dinamo, producía electricidad para un pequeño establecimiento termal.

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En 1930, se instala la primera red moderna de calefacción urbana alimentada por energía geotérmica en Reikjavik (Islandia). Hoy el 95% de los habitantes tienen tuberías aisladas que transportan agua caliente.

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A partir de la década de los setenta se inicia una intensa actividad de exploración e investigación de recursos geotérmicos al objeto de utilizarlos para producción de energía eléctrica o para calefacción y agua caliente.

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En el año 2000, la capacidad geo-termo-eléctrica instalada a nivel mundial era de 8.000 MWe.

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En 2005, la capacidad instalada en 72 países ascendió a alrededor de 28.000 MWt, de los cuales unos 15.000 MWt correspondían a bombas de calor geotérmicas.